Khả năng phản ứng là mạnh mẽ. Khi có nước và oxy, nó sẽ tiếp tục phản ứng với vật liệu điện và nước, do đó phân hủy tạo ra khí độc hoặc khí độc cao. Những khí độc này chủ yếu gây hại cho hệ thống hô hấp của cơ thể con người. Sau khi ngộ độc sẽ xảy ra các phản ứng bất lợi như cảm lạnh, dị ứng da, buồn nôn và nôn, mệt mỏi… Khi hít phải với liều lượng lớn, hậu quả nghiêm trọng hơn sẽ xảy ra.
Do đó, các biện pháp bảo vệ sau đây phải được thực hiện trong quá trình bảo trì và thử nghiệm thiết bị SF6:
(1) Địa điểm làm việc phải được thông gió mạnh và nhân viên bảo trì phải ở vị trí đón gió;
(2) Đeo mặt nạ phòng độc và găng tay bảo hộ;
(3) Thu hồi khí đã thải, hoặc xả khí vào cống bằng ống dẫn chứ không xả trực tiếp vào khí quyển;
(4) Trước khi nghỉ hoặc sau khi làm việc phải rửa mặt, cổ, cánh tay và bàn tay bằng xà phòng và nhiều nước;
(5) Trong trường hợp vô tình tiếp xúc với lượng lớn khí, phải rửa ngay, thay quần áo và đến bệnh viện để theo dõi và điều trị kịp thời.