Máy phân tích quang phổ hồng ngoại biến đổi Fourier (FTIR) được sử dụng trong ngành sản xuất chất bán dẫn FTIR là thiết bị phân tích quang phổ sử dụng quang phổ hồng ngoại để phân tích nồng độ tạp chất thông qua biến đổi Fourier. Máy quang phổ chủ yếu bao gồm một nguồn sáng (thanh carbon silicon, đèn thủy ngân cao áp), giao thoa kế Michelson, máy dò và giao thoa kế
Ánh sáng hồng ngoại phát ra từ nguồn sáng hồng ngoại S được chuẩn trực thành chùm tia hồng ngoại song song và đi vào hệ thống giao thoa. Sau khi điều chỉnh bằng giao thoa kế sẽ thu được chùm ánh sáng giao thoa. Ánh sáng giao thoa đi qua mẫu Sa để thu được tín hiệu giao thoa chứa thông tin quang phổ, tín hiệu này đến máy dò D và sau đó được D chuyển đổi thành tín hiệu điện. Tín hiệu giao thoa ở đây là hàm thời gian, là dạng giao thoa được vẽ bởi tín hiệu giao thoa và trục hoành của nó là thời gian hoặc khoảng cách chuyển động của gương chuyển động. Mẫu nhiễu này được gửi đến máy tính thông qua bộ chuyển đổi A/D và máy tính thực hiện các phép tính biến đổi Fourier nhanh để thu được phổ hồng ngoại với số sóng là trục ngang. Sau đó, nó được gửi đến máy vẽ thông qua bộ chuyển đổi D/A để vẽ phổ hấp thụ hồng ngoại tiêu chuẩn rất quen thuộc.
